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在调研工作基础上,确定晶圆传输双叉臂真空机械手的技术方案; 研发设计晶圆传输双叉臂真空机械手机械结构并进行仿真分析; 按照技术参数要求: 0轴重复定位精度:士 0.1°;R1&R2 轴重复定位精度:士0.1mm,优化机械结构。
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